一：

光学膜厚测量仪图纸技术百科

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问题2：光学膜厚仪的使用及原理
答：光学薄膜测厚仪(SpectraThickSeries)的核心技术介绍和原理说明SpectraThickseries的特点是非接触,非破坏方式测量，无需样品的前处理，软件支持Windows操作系统等。STseries是使用可视光测量wafer，glass等substrates上形成的氧化膜，氮化。

三 ：

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